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森積科技有限公司
SJ High Technology Company
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最專業精密加熱製程
設備供應商
烘箱
260 C Vacuum Ovens
溫度 : RT~ +260°C.
均溫 ±3.5%
單點設定控制溫度
低耗能設計的heater可延長壽命
真空可達到 1 x 10-2 torr, (10 microns).
真空系統可搭配惰性氣體等
260真空烘箱
260真空烘箱
真空烘箱結構說明
Inert Gas Ovens 146 Series
溫度 : RT~ 350C
均溫 : ±1%
偏差: ±0.5 C
升溫至 300 C 少於60分鐘
無氧烘箱
烘箱結構示意圖
潔淨烘箱
大口徑鋼外觀和全不銹鋼內部
可拆卸的一體式不銹鋼內體
全焊接密封內室建設可確保持續低粒子計數
4" 玻璃纖維絕緣可減少熱量損失
潔淨室的白色琺瑯為長效抗腐蝕保護
Blue M矽膠門封設計利於密封
可搭配惰性氣體和可調式流量計。
設有獨有的Blue M循環HEPA空氣過濾系統
最高溫250度
均溫區±1
氣流
快速退火爐RTA
MRF 3000度高溫熱處理爐
退火爐
電弧爐
晶體生長爐
各式製程
熱壓爐
物理測試爐
工業用爐
實驗用爐
燒結爐
3000度熱處理爐
客製化,其他
高溫爐/實驗爐 產品專區
管型爐
箱型爐
連續式隧道窯
控制器
LED 專區爐
高溫爐 真空系統
奈米製程設備
半導體設備專區
工業爐
LPVCD低壓氣象沉積系統
全自動垂直爐
高溫爐加熱及真空零組件
產業製程應用
客製化
石英加工專區
被動元件專區
Linton產品專區
長晶爐
太陽能相關設備
半導體相關設備